電子半導體水處理解決方案-威特雅
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        電子半導體水處理解決方案



        威特雅是一站式電子半導體水處理解決方案工程交鑰匙服務商。針對電子半導體行業水質特點,處理系統通過組合過濾系統+先進的特種膜分離系統+EDI系統+拋光混床系統,實現水資源的高效處理和回用幫助企業提高資源循環使用的經濟效益


        電子半導體行業為什么需要水處理設備?

        電子半導體產品的生產過程中對水質的要求很高。半導體材料的制造涉及到精密的化學反應和物理過程,水中的雜質、離子、微生物等可能對產品造成污染,影響產品的性能、穩定性和可靠性。因此,需要使用水處理設備去除水中的各種雜質,保證生產用水的純凈度。

         

        初步吸附過濾、反滲透凈化和樹脂離子交換等,有效去除水中的各種雜質、離子和微生物,確保生產出電阻率極高的超純水。這種超純水被廣泛應用于半導體制造的清洗、蝕刻、制膜和摻雜等關鍵工藝環節,是保障半導體產品性能和質量的關鍵因素。


         

        電子半導體行業用到哪些水處理設備?

         

        1. 多介質/活性炭過濾系統:

         

        多介質過濾器通常作為水處理的初步階段,其通過不同介質的組合,有效去除水中的懸浮物、膠體、顆粒物等雜質,為后續處理工藝提供較為清潔的水源。

        活性炭過濾器則主要用于去除水中的有機物、異味、色素等雜質。活性炭具有強大的吸附能力,能夠吸附并去除水中的這些污染物,從而進一步提高水質的純凈度。



         

        2. 超濾系統

         

        首先,在清洗工藝中,超濾膜能夠有效去除水中的顆粒和離子,作為高質量超純水系統的預處理工藝。這種超純水被用于清洗半導體器件和設備,以確保產品表面的清潔度,避免污染物對產品性能和可靠性的影響。

        其次,超濾技術也常用于工藝液體的制備。在半導體制造過程中,需要使用各種工藝液體,如酸、堿、有機溶劑等。威特雅超濾膜能夠對這些液體進行過濾和凈化,去除其中的雜質和顆粒物,確保液體的純度和質量符合生產要求。

        此外,在設備的冷卻水循環中,超濾技術也發揮著重要作用。半導體制造設備在運行過程中會產生大量熱量,需要冷卻水進行散熱。超濾膜能夠去除冷卻水中的顆粒和離子,防止雜質對設備造成損害,確保設備的正常運行和產品的穩定性。


         

         

        3. 反滲透膜系統

         

        反滲透膜在半導體行業中主要用于超純水制備的工藝步驟。在電子半導體制造過程中,超純水被廣泛應用于清洗硅片、芯片等關鍵部件,可以有效去除表面的微粒和有機物,減少產品缺陷率。反滲透膜能夠提供穩定的、低張力的去離子水,滿足半導體行業對水質的高要求。

        此外,反滲透膜技術同樣能夠提供高質量的清洗用水,保證元器件的可靠性和穩定性。通過利用反滲透膜的特性,可以實現對水質的精確控制,滿足電子半導體制造過程中對超純水的嚴格需求。


         

        4. EDI系統:

         

        EDI系統,即電去離子系統,在半導體行業中具有廣泛的應用。它主要被用于超純水制備的工藝步驟中。

        在半導體制造過程中,超純水被用于多個關鍵工藝步驟,如清洗硅片、芯片等關鍵部件,以及作為其他工藝液體的制備基礎。EDI系統能夠通過離子交換膜技術和離子電遷移技術,有效地去除水中的離子和其他雜質,從而制備出高純度的超純水。

        具體來說,EDI系統能夠去除水中的離子,如鈉、鈣、鎂等金屬離子以及氯、硫酸根等陰離子,使水的電導率極低,滿足半導體制造過程中對水質的高要求。同時,由于其高效的離子去除能力,EDI系統還能夠減少傳統離子交換過程中所需的再生頻率和化學品消耗,降低運營成本和環境影響。


         

        5. 拋光混床系統:

         

        拋光混床在半導體行業中主要被用于超純水的制備工藝步驟。

        芯片洗滌:制造芯片的過程中,會經過化學/物理沉淀、腐蝕、烘烤等工藝,這些過程會產生各種雜質。為了去除這些雜質,保證芯片性能,需要使用超純水進行洗滌。

        制備半導體材料:超純水能夠將半導體材料表面的雜質去除干凈,保證半導體材料純度的要求,從而有效提高半導體芯片的性能和可靠性。

        在這些工藝步驟中,超純水用于清洗半導體器件和設備,確保產品表面的清潔度,避免污染物對產品性能和可靠性的影響。拋光混床系統能夠有效地去除水中的離子和有機物,確保水質滿足半導體行業的高標準。

         

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