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電子半導體水處理解決方案
威特雅是一站式電子半導體水處理解決方案工程交鑰匙服務商。針對電子半導體行業水質特點,水處理系統通過組合過濾系統+先進的特種膜分離系統+EDI系統+拋光混床系統,實現水資源的高效處理和回用,幫助企業提高資源循環使用的經濟效益。
電子半導體行業為什么需要水處理設備?
電子半導體產品的生產過程中對水質的要求很高。半導體材料的制造涉及到精密的化學反應和物理過程,水中的雜質、離子、微生物等可能對產品造成污染,影響產品的性能、穩定性和可靠性。因此,需要使用水處理設備去除水中的各種雜質,保證生產用水的純凈度。
初步吸附過濾、反滲透凈化和樹脂離子交換等,有效去除水中的各種雜質、離子和微生物,確保生產出電阻率極高的超純水。這種超純水被廣泛應用于半導體制造的清洗、蝕刻、制膜和摻雜等關鍵工藝環節,是保障半導體產品性能和質量的關鍵因素。
電子半導體行業用到哪些水處理設備?
1. 多介質/活性炭過濾系統:
多介質過濾器通常作為水處理的初步階段,其通過不同介質的組合,有效去除水中的懸浮物、膠體、顆粒物等雜質,為后續處理工藝提供較為清潔的水源。
活性炭過濾器則主要用于去除水中的有機物、異味、色素等雜質。活性炭具有強大的吸附能力,能夠吸附并去除水中的這些污染物,從而進一步提高水質的純凈度。
2. 超濾系統:
首先,在清洗工藝中,超濾膜能夠有效去除水中的顆粒和離子,作為高質量超純水系統的預處理工藝。這種超純水被用于清洗半導體器件和設備,以確保產品表面的清潔度,避免污染物對產品性能和可靠性的影響。
其次,超濾技術也常用于工藝液體的制備。在半導體制造過程中,需要使用各種工藝液體,如酸、堿、有機溶劑等。威特雅超濾膜能夠對這些液體進行過濾和凈化,去除其中的雜質和顆粒物,確保液體的純度和質量符合生產要求。
此外,在設備的冷卻水循環中,超濾技術也發揮著重要作用。半導體制造設備在運行過程中會產生大量熱量,需要冷卻水進行散熱。超濾膜能夠去除冷卻水中的顆粒和離子,防止雜質對設備造成損害,確保設備的正常運行和產品的穩定性。
3. 反滲透膜系統:
反滲透膜在半導體行業中主要用于超純水制備的工藝步驟。在電子半導體制造過程中,超純水被廣泛應用于清洗硅片、芯片等關鍵部件,可以有效去除表面的微粒和有機物,減少產品缺陷率。反滲透膜能夠提供穩定的、低張力的去離子水,滿足半導體行業對水質的高要求。
此外,反滲透膜技術同樣能夠提供高質量的清洗用水,保證元器件的可靠性和穩定性。通過利用反滲透膜的特性,可以實現對水質的精確控制,滿足電子半導體制造過程中對超純水的嚴格需求。
4. EDI系統:
EDI系統,即電去離子系統,在半導體行業中具有廣泛的應用。它主要被用于超純水制備的工藝步驟中。
在半導體制造過程中,超純水被用于多個關鍵工藝步驟,如清洗硅片、芯片等關鍵部件,以及作為其他工藝液體的制備基礎。EDI系統能夠通過離子交換膜技術和離子電遷移技術,有效地去除水中的離子和其他雜質,從而制備出高純度的超純水。
具體來說,EDI系統能夠去除水中的離子,如鈉、鈣、鎂等金屬離子以及氯、硫酸根等陰離子,使水的電導率極低,滿足半導體制造過程中對水質的高要求。同時,由于其高效的離子去除能力,EDI系統還能夠減少傳統離子交換過程中所需的再生頻率和化學品消耗,降低運營成本和環境影響。
5. 拋光混床系統:
拋光混床在半導體行業中主要被用于超純水的制備工藝步驟。
芯片洗滌:制造芯片的過程中,會經過化學/物理沉淀、腐蝕、烘烤等工藝,這些過程會產生各種雜質。為了去除這些雜質,保證芯片性能,需要使用超純水進行洗滌。
制備半導體材料:超純水能夠將半導體材料表面的雜質去除干凈,保證半導體材料純度的要求,從而有效提高半導體芯片的性能和可靠性。
在這些工藝步驟中,超純水用于清洗半導體器件和設備,確保產品表面的清潔度,避免污染物對產品性能和可靠性的影響。拋光混床系統能夠有效地去除水中的離子和有機物,確保水質滿足半導體行業的高標準。
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