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顯影液廢水處理設備
液晶顯示屏生產過程的顯影工序排出高濃度顯影液廢液和低濃度顯影液廢水,通常將顯影液廢液作為危險廢棄物委外處置,將低濃度的顯影液廢水排入工廠廢水站與其它有機廢水合并進行生化處理。
顯影液廢水的成分:
顯影液廢水中的污染物主要是四甲基氫氧化銨(Tetramethylammonium hydroxide, 簡稱TMAH)和少量溶解的光刻膠,其中TMAH濃度為400mg/L左右。TMAH是一種具有強堿性、腐蝕性及生物毒性的有機氮化合物,需對其進行去除總氮處理,以滿足工廠廢水站外排水中總氮指標的排放要求。
顯影液廢水處理方法及系統:
1、PH調節
在顯影液廢水中加入酸溶液,調節PH至7.5-8.5。
2、混凝沉淀
A )完成PH值調節后,在顯影液廢水中加入混凝劑,使析出的光刻膠凝聚為絮體;
B )然后再加入絮凝劑,使光刻膠絮體抱團,提高絮體的密實度;
C )靜置沉淀1-2h,沉淀污泥排入工廠廢水站污泥脫水系統處理,沉淀上清液待進一步處理。
3、超濾處理
通過超濾膜截留去除上清液中的顆粒狀和膠體態雜質,得到超濾出水。
4、反滲透處理
對超濾出水進行反滲透處理,由反滲透膜截留顯影液廢水中的TMAH并對廢水進行脫鹽,其中,反滲透產水用于工廠循環冷卻水補水或雜用水,富集了高濃度TMAH的反滲透濃水待后續步驟處理。
5、厭氧生化處理
對反滲透濃水進行厭氧生化處理,在厭氧微生物作用下,反滲透濃水中的TMAH分解轉化為氨氮和甲烷氣。
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